【电子工业厂房洁净厂房设计规范】在电子工业中，洁净厂房的设计是确保产品质量和生产安全的重要环节。随着半导体、集成电路等精密电子产品的快速发展，对生产环境的洁净度要求越来越高。因此，制定并遵循科学合理的《电子工业厂房洁净厂房设计规范》显得尤为重要。
本规范主要针对电子工业中各类洁净厂房的设计原则、技术要求、施工标准及管理措施等方面进行了系统性的规定，旨在为电子制造企业提供一个高效、安全、符合行业标准的生产环境。
一、设计原则
| 设计原则 | 内容说明 |
| 精密性 | 洁净厂房应满足生产工艺对空气洁净度、温湿度、压力差等参数的要求 |
| 安全性 | 厂房结构应具备良好的防火、防爆、防静电等安全性能 |
| 经济性 | 在保证功能的前提下，合理控制建设与运行成本 |
| 可扩展性 | 设计应考虑未来生产规模的扩展需求 |
| 环保性 | 应采用节能降耗、环保材料和设备 |
二、洁净等级划分
根据《洁净厂房设计规范》，电子工业厂房通常按照ISO 14644-1标准进行洁净度分级，常见的等级包括：
| 洁净等级 | 颗粒浓度（≥0.5μm） | 应用场景 |
| ISO 4级 | ≤10,000颗/m³ | 超大规模集成电路制造 |
| ISO 5级 | ≤1,000颗/m³ | 光刻、封装等关键工艺段 |
| ISO 6级 | ≤100颗/m³ | 较高精度组装区域 |
| ISO 7级 | ≤10颗/m³ | 辅助车间、仓储区 |
| ISO 8级 | ≤1颗/m³ | 办公区、辅助设施 |
三、通风与空气净化系统
| 系统类型 | 功能 | 设计要点 |
| 风机过滤单元（FFU） | 提供局部高效净化 | 应均匀布置，避免气流死角 |
| 静压箱 | 均衡送风压力 | 与FFU配合使用，提高气流稳定性 |
| 新风系统 | 补充新鲜空气 | 应配备初效、中效、高效过滤器 |
| 排风系统 | 排除有害气体 | 需设置独立排风管道，防止交叉污染 |
四、温湿度控制
| 控制参数 | 设计范围 | 说明 |
| 温度 | 22±2℃ | 一般电子制造环境 |
| 湿度 | 40%~60% RH | 防止静电和材料吸湿 |
| 压力差 | 正压 ≥5Pa | 保持洁净区高于非洁净区 |
五、建筑结构与材料
| 项目 | 要求 |
| 墙体 | 应采用轻质、不产尘、易清洁的材料 |
| 地面 | 应选用防静电、耐磨、不起尘的材料 |
| 天花板 | 应平整、无接缝，便于清洁 |
| 门窗 | 应密封良好，减少外界污染 |
六、电气与照明
| 项目 | 要求 |
| 电源 | 应有备用电源系统，保障连续生产 |
| 照明 | 照度应满足工艺要求，一般不低于300 lux |
| 防静电 | 所有电器设备应接地良好，防止静电放电 |
七、人员与物料进出管理
| 管理内容 | 要求 |
| 人员进入 | 必须经过更衣、风淋等净化程序 |
| 物料传递 | 应使用传递窗或物流通道，避免交叉污染 |
| 工具管理 | 使用无尘工具，定期清洗与消毒 |
通过严格执行《电子工业厂房洁净厂房设计规范》，可以有效提升电子产品的良品率，降低生产成本，同时保障员工的工作环境安全。企业在进行厂房设计时，应结合自身工艺特点和产品要求，灵活应用规范内容，确保洁净厂房的功能性和经济性达到最佳平衡。